Интернет-выставка "Высокие технологии"

Логин: Пароль:
( Забыли пароль? ) Регистрация

Установка для контроля параметров тонких пленок "МИИ-4 Видео"


Назначение

Контроль толщины металодиэлектрических структур и проводящих пленок в нано- и микрометровом диапазоне.

Описание проекта

«МИИ-4 Видео» позволяет контролировать толщины металодиэлектрических структур и проводящих пленок в нано- и микрометровом диапазоне с недостижимой ранее точностью. Сочетаются современные системы видеообработки изображений, уникальный программный интерфейс и обнаруженные закономерности поведения интерференционной картины в ограниченных слоистых структурах. Диапазон контролируемых толщин 0.05–3.0 мкм.
Погрешность измерений 10%. Материал проводящей пленки Al, Cu, Ag, Au.

Стадия разработки

Готовая продукция, наличие документов о правовой защите интеллектуальной собственности. Патент РФ 1742612 МКИ G 01 B 11/06. Способ определения толщины пленки / Д.А. Усанов, В.Д. Тупикин, А.В. Скрипаль. Опубл. 23.06.92. Бюл.23.
Свидетельство на полезную модель No28400 от 20.03.2003 г. Устройство для видеоизмерения толщины пленки / Усанов Д.А., Скрипаль Ан.В., Скрипаль Ал.В., Абрамов А.В., Сергеев А.А., Абрамов А.Н., Коржукова Т.В. Опубл. Бюл.No8.

Предложения по сотрудничеству

Продажа лицензии, продажа готовой продукции.
Объем инвестиций, период окупаемости – 800000 руб., 3 года.

Организации-разработчики

Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского

Выставки, в которых этот проект принимал участие

Четвертый Московский международный салон инноваций и инвестиций



© 1994–2011 ФГУ НИИ РИНКЦЭ